Shenyang Starlight Advanced Ceramics, Yarıiletken Plaka İşleme için 8 inçlik Silisyum Karbür Üç Direkli Tekneleri Başarıyla Teslim Etti

Silisyum karbür ürünlerinin lider üreticisi olan ve 30 yılı aşkın sektör deneyimine sahip Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., yarı iletken gofret ısıl işlem uygulamaları için özel 8 inçlik silisyum karbür üç direkli tekneleri başarıyla geliştirip teslim ederek yakın zamanda önemli bir dönüm noktasına ulaştı.

Wafer İşleme Teknolojisinde Çığır Açan Gelişme

Yeni geliştirilen 8 inçliksilisyum karbürÜç direkli tekneler, özellikle aşağıdakiler için tasarlanmış olup, wafer elleçleme teknolojisinde önemli bir ilerlemeyi temsil eder:

• 200 mm yarı iletken levhaların yüksek sıcaklıkta işlenmesi

• Kritik üretim adımları sırasında düzgün termal dağılım

• Temiz oda ortamlarında kontaminasyon risklerinin azaltılması

Teknik Üstünlük

Hassas mühendislikle üretilen bu teknelerin özellikleri şunlardır:

• Ultra yüksek saflıksilisyum karbürmalzeme (%99,99 saflık)

• Minimum gofret teması için optimize edilmiş üç direkli tasarım

• Olağanüstü termal şok direnci (1.400°C'ye kadar hızlı sıcaklık değişikliklerine dayanıklıdır)

• Aşındırıcı proses gazlarına karşı üstün kimyasal inertlik

Sektör Taleplerini Karşılamak

"8 inçliksilisyum karbürDr. Li, Baş Teknoloji Sorumlusu, üç direkli teknelerin yarı iletken endüstrisinin güvenilir, yüksek performanslı yonga taşıyıcılarına olan artan ihtiyacını karşıladığını söyledi. "Geleneksel kuvars taşıyıcılara kıyasla daha uzun hizmet ömrü ve daha iyi termal kararlılık gibi önemli avantajlar sunuyorlar. "

Titiz Geliştirme Süreci

Ürün geliştirme süreci şunları içermektedir:

• 18 ay yoğun Ar-Ge

• Önde gelen yarı iletken üreticileriyle işbirliği

• 200'den fazla termal döngü testi

• Sıkı partikül kontaminasyon kontrol önlemleri

Kalite Güvencesi

Her ünite şu aşamalardan geçer:

• Boyutsal doğruluk doğrulaması (±0,02 mm tolerans)

• Yüzey pürüzlülüğü testi (Ra < 0,2μm)

• Kapsamlı görsel inceleme

• Sınıf 100 temiz odada son temizlik ve paketleme

Uygulamalar

Tekneler şu anda şu amaçlarla kullanılıyor:

• Difüzyon süreçleri

• Tavlama işlemleri

• Oksidasyon süreçleri

• CVD uygulamaları

Gelecekteki Gelişmeler

Bu başarının üzerine Shenyang Starlight şu anda şunları geliştiriyor:

• Yeni nesil gofret boyutları için 12 inçlik versiyon

• Belirli proses gereksinimleri için özelleştirilmiş tasarımlar

• Özel uygulamalar için gelişmiş kaplamalar

Şirket Taahhüdü

"Seramik konusunda otuz yıllık uzmanlığa sahip bir şirket olarak, yarı iletken malzeme teknolojisinin sınırlarını zorlamaya kararlıyız, diye ekledi Dr. Li. "Bu ürün lansmanı, sektörün en zorlu gereksinimlerini karşılayan çözümler geliştirme yeteneğimizi gösteriyor. "