Shenyang Starlight Advanced Ceramics, 12 inçlik Wafer İşleme için Hassas 451 mm OD Liner Tüpleriyle Yarı İletken Üretiminde Önemli Bir Aşamaya Ulaştı

Silisyum karbür üretiminde otuz yılı aşkın uzmanlığa sahip öncü Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., 12 inç yarı iletken gofret üretim süreçleri için 451 mm dış çaplı (OD) astar borularını başarıyla teslim ederek yakın zamanda önemli bir atılım gerçekleştirdi. Bu başarı, şirketin küresel yarı iletken endüstrisi için kritik seramik bileşenlerini geliştirmedeki liderliğini vurguluyor. Özellikle yüksek sıcaklıklı gofret işleme uygulamaları için tasarlanan yeni geliştirilen astar boruları, gelişmiş yarı iletken üretim ekipmanlarının sıkı gereksinimlerini karşılamak üzere tasarlanmış, optimize edilmiş 451 mm'lik bir flanş dış çapına sahiptir. Olağanüstü termal kararlılığa sahip (çalışma aralığı: ortam sıcaklığından 1.450°C'ye) ultra yüksek saflıkta silisyum karbür (≥%99,999) kullanan buastar boruları bileşenler minimum termal genleşmeyi (4,0×10⁻⁶/K katsayısı) ve aşındırıcı işlem gazlarına karşı üstün direnci garanti ederek oksidasyon, difüzyon ve kimyasal buhar biriktirme (CVD) işlemlerinde tutarlı performans sağlar. Liner tüplerinin hassas mühendisliği, ±0,05 mm içinde boyutsal toleransları ve Ra 0,1 μm'nin altında yüzey pürüzlülüğünü garanti eder; bu, temiz oda ortamlarında yonga bütünlüğünü korumak ve partikül kontaminasyon risklerini azaltmak için kritik önem taşır.

The astar borularıgeliştirme süreci, önde gelen yarı iletken üreticileriyle 18 ay süren sıkı bir Ar-Ge işbirliğini içerdi ve 300 mm iç çap boyunca gaz akış dinamiklerini ve termal düzgünlüğü optimize etmek için gelişmiş sonlu eleman analizini (FEA) içeriyordu. 500'den fazla termal döngü testi,astar boruları' Hızlı sıcaklık dalgalanmaları altında dayanıklılık, tescilli sinterleme teknikleri ile garanti altına alınmıştırastar boruları aşırı sıcaklıklarda yapısal bütünlük. Üretim, her ünitenin kapsamlı bir şekilde kontrol edildiği ISO Sınıf 5 temiz odalarda gerçekleşir astar borularıhelyum sızıntı testi, artık gaz analizi (RGA) ve lazer tarayıcılar ve koordinat ölçüm makineleri (CMM'ler) kullanılarak yapılan metroloji doğrulaması dahil olmak üzere kalite kontrolleri. Gelişmiş mantık ve bellek çipi üretimindeki erken benimseyenler, malzemenin doğal kimyasal eylemsizliği ve azaltılmış bakım gereksinimlerine atfedilen geleneksel kuvars astarlarına kıyasla fırın duruş süresinde %35 azalma ve gofret veriminde %20 iyileşme bildirdiler.

Bu astar borularıyenilik, yarı iletken endüstrisinin daha büyük gofret boyutları ve daha yüksek işlem tutarlılığı için artan talebini ele alır, özellikle de üreticiler 5nm altı düğümlere geçiş yaparken. 451 mm OD tasarımı, yeni nesil dikey fırınlarla sorunsuz entegrasyon sağlarken, malzemenin ultra düşük metalik safsızlık seviyeleri (<0,1ppb) hassas işlemlerde katkı maddesi kirlenmesini önler. Mevcut uygulamaların ötesinde, Shenyang Starlight aktif olarak akıllıastar borularıEndüstri 4.0 üretim ekosistemleriyle uyumlu, gerçek zamanlı sıcaklık izleme ve adaptif termal yönetim sistemleri için gömülü sensörlere sahip prototipler.

30 yıllık bir geçmişe ve 2.000'den fazla başarılı müşteri ortaklığına sahip olan Shenyang Starlight, yarı iletken sektörünün en karmaşık zorluklarını çözmek için malzeme bilimi mükemmelliğini hassas mühendislikle birleştirerek yüksek performanslı seramiklerde inovasyonu sürdürmektedir.