Shenyang Starlight Gelişmiş Seramikleri: Silisyum Karbürden Yarı İletken Sınırlarına Geçişte 30 Yıllık Öncü Bir Miras

Silisyum karbür üretiminde otuz yıllık uzmanlığa sahip öncü bir şirket olan Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., geleneksel fırın mobilyası üretiminden yarı iletken sınıfı çözümlere stratejik bir geçiş yapıyor. Köklü teknik uzmanlığını ve küresel tedarik zinciri yeteneklerini kullanan şirket, hassas üretim kavramını yeniden tanımlamaya hazırlanıyor.silisyum karbürYeni nesil çip üretimi için bileşenler.

Fırından Çipe: Stratejik Bir Evrim

1995 yılında Çin-Alman ortak girişimi olarak kurulan Shenyang Starlight, başlangıçta endüstriyel fırın bileşenlerine odaklanarak ulusal bir yüksek teknoloji kuruluşu olarak tanındı ve ürünlerini 20'den fazla ülkeye ihraç etti. Yarı iletkensilisyum karbür2028 yılına kadar pazarın 10 milyar doları aşması bekleniyor, şirket 2019 yılında yüksek saflıkta ileri malzemeler bölümünü kurarak çeşitlendirmeye başladısilisyum karbüryarı iletken ekipmanlar için yapısal parçalar.

CEO Bay Xing, "Değişimimiz, Çin'in yarı iletken konusunda kendi kendine yeterlilik çabalarıyla örtüşüyor" dedi.silisyum karbür'“Isıl kararlılığı ve saflığı onu aşındırma, biriktirme ve gofret işleme sistemleri için vazgeçilmez kılıyor.”

Geçişi Tetikleyen Teknolojik Atılımlar

1. Ultra Yüksek Saflıkta Malzeme İnovasyonu

Şirket artık 4N+ (%99,99) saflıkta ürün üretiyorsilisyum karbürKirliliğe duyarlı yarı iletken prosesleri için kritik öneme sahip metalik safsızlıkları ortadan kaldırarak, özel rafinasyon prosesleri yoluyla tozlar.

Çok aşamalı sinterleme (reaksiyonla bağlanmış, yeniden kristalleştirilmiş ve sıcak preslenmiş) >3,1 g/cm³ yoğunluk sağlar ve vakum uyumluluğu için ASML ve TEL spesifikasyonlarını karşılar.

2. Hassas Üretim Yetenekleri

İzostatik presleme ve 3D baskı gibi gelişmiş şekillendirme teknikleri, ±0,01 mm toleranslı gofret taşıma robotları ve CVD hazne astarları gibi karmaşık geometrilerin üretilmesine olanak tanır.

Özel lazer destekli işleme, litografi aşamalarında <1 nm yüzey pürüzlülüğü için kritik öneme sahip olan geleneksel taşlamaya kıyasla yüzey altı hasarını %60 oranında azaltır.

3. Sektörler Arası Sinerji

Şirket, fırın bileşenleri üzerine onlarca yıllık Ar-Ge deneyiminden yararlanarak, termal şoka dayanıklı tasarımları (aslen 1.600°C'de seramik sinterleme için) yarı iletken hızlı termal işleme (RTP) sistemlerine uyarladı ve kuvars alternatiflerine kıyasla %30 daha uzun hizmet ömrü elde etti.

Yarı İletken Ürün Portföyü

Gofret Taşıyıcılar: Yeniden Kristalleştirilmişsilisyum karbürYüksek sıcaklık difüzyon fırınları için tepsiler, alüminaya kıyasla partikül oluşumunu %50 oranında azaltır.

Vakumlu Mandrenler: Düşük gaz çıkışısilisyum karbürEUV litografi sistemleri için gömülü soğutma kanallarına sahip elektrostatik torna tezgahları.

Plazma Dirençli Bileşenler: Nitrür bağlısilisyum karbür500+ saatlik korozif plazma testlerinde onaylanmış, aşındırma aletleri için kalkanlar.

İşbirlikçi Ekosistem Oluşturma

1. Akademik Ortaklıklar: Kuantum nokta desteklisilisyum karbürYüksek vakumlu ortamlarda gofret yapışmasını en aza indirmek için Shenyang Üniversitesi ile kaplamalar.

2. Endüstri İttifakları: 2024 yılında Liaoning Yarı İletken Malzemeler Konsorsiyumuna katıldı vesilisyum karbürSMIC ve Naura ile işleme standartları.

3. Küresel Sertifikasyon: 2025'in 2. çeyreğinde SEMI S2 uyumluluğunu elde ederek, 1. Kademe dökümhane onaylarının yolunu açtı.

Zorluklar ve Gelecek Yol Haritası

Geleneksel fırın ürünleri gelirin %65'ini oluşturmaya devam ederken, yarı iletken bölümü yıllık %40 büyümeyi şu şekilde hedefliyor:

Kapasite Artırımı: 8 inçlik gofret kalıbı talebini karşılamak için 2026'nın 3. çeyreğine kadar izostatik presleme hatlarının iki katına çıkarılması.

Yapay Zeka Destekli Kalite Kontrol: CNC işleme sırasında gerçek zamanlı hata tespiti için makine görüşünün uygulanması.

Döngüsel Ekonomi: ESG hedeflerine uygun olarak, patentli filtrasyon sistemleri aracılığıyla öğütme çamurunun %95'inin geri dönüştürülmesi.

CTO Zhang Wei, "30 yıllık yolculuğumuz Çin'in üretim evrimini yansıtıyor," dedi. "Fırın raflarından çip fabrikalarına kadar her şeyi yazıyoruz."silisyum karbür'nin bir sonraki bölümü—her seferinde bir atom katmanı.”